Für die Hersteller von Halbleitern, pharmazeutischen und biotechnischen Produkten, ist die Luftqualität im Gebäude entscheidend. In diesen Reinräumen wird die Luft auf Partikel- und Staubverunreinigung überwacht.
Im Gegensatz zur Gasanalyse misst ein Partikelzähler nur die Größe und Menge der Verunreinigung, führt aber keine Identifizierung durch. Gemessen wird, indem die Streuung eines Laserstrahls beobachtet wird, wenn man die Gasprobe durchleitet.
Unverzichtbar ist für diese Anwendung ein konstanter und pulsationsfreier Volumenstrom sowie die Möglichkeit, diesen zu kontrollieren. Miniaturdrehschieberpumpen sind dafür bestens geeignet.
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